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首先、無塵車間一般包括潔凈區、準潔凈區和輔助區三部分。平面布置可以有以下幾種方式：
外廊環繞式：外廊可以有窗和無窗，兼作參觀和放置一些設備用，有的在外廊內設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。
內廊式：無塵車間設在外圍，而走廊設在內部，這種走廊的潔凈度級別一般都較高，甚至和無塵車間同級。
兩端式：潔凈區設在一邊，另一邊設準潔凈和輔助用房。
核心式：為了節約用地、縮短管線，可以潔凈區為核心，上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來，這種方式避開室外氣候對潔凈區的影響，減少了冷熱能耗，利于節能。
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